Hafnio oksido (HfO2) purškimo taikinys

Cirkonis (ZrO2), taip pat žinomas kaip cirkonio dioksidas, yra labai svarbi aukštos kokybės keramikos medžiaga. Dėl aukštos lydymosi temperatūros, didelio lenkimo stiprumo ir cheminio stabilumo jis plačiai naudojamas įvairiose pramonės srityse, įskaitant ugniai atsparias medžiagas, abrazyvines medžiagas ir pažangią keramiką. Plonos plėvelės technologijos ir dangų pramonėje cirkonio oksido taikiniai yra ypač svarbūs. Jie yra pagrindinė medžiaga aukštos kokybės dangoms gaminti pagrindinių komponentų, tokių kaip elektroniniai ekranai, saulės baterijos ir optiniai įrenginiai, gamybai.

Taikymas plonų sluoksnių nusodinimo technologijoje

Cirkonio oksido taikiniai atlieka pagrindinį vaidmenį plonų plėvelių nusodinimo technologijoje, ypač ruošiant aukštos kokybės ir daugiafunkcines plonasluoksnes medžiagas. Šios technologijos daugiausia apima:

1. Magnetroninis purškimas

Principas ir procesas: naudojant taikinį kaip purškimo šaltinį, taikinys bombarduojamas magnetiniu lauku, kad būtų galima valdyti plazmą vakuuminėje aplinkoje, kad taikinio atomai arba molekulės būtų išpurškiamos ant substrato, kad susidarytų plona plėvelė.

Cirkonio oksido taikinių privalumai: Užtikrinti didelio grynumo ir vienodą ploną plėvelę, ypač tinkančią didelio našumo elektroniniams ir optoelektroniniams prietaisams gaminti.

2. Elektronų pluošto išgarinimas

Principas ir procesas: naudokite didelės energijos elektronų pluoštą, kad apšvitintumėte taikinį, kad paviršiaus atomai išgaruotų ir nusėda ant aušinto pagrindo, sudarydami ploną plėvelę.

Cirkonio oksido taikinių privalumai: Galimybė gaminti plonas plėveles su puikiomis fizinėmis savybėmis esant mažesniam darbiniam slėgiui ir didesniam nusodinimo greičiui.

Cirkonio oksido taikinių taikymas puslaidininkių ir optoelektronikos pramonėje daugiausia atsispindi naudojant jį kaip medžiagą aukštos kokybės izoliaciniams ir antirefleksiniams sluoksniams. Konkrečios programos yra šios:

1. Kaip didelio k dielektriko medžiaga

Išsami informacija apie taikymą: pažangiuose puslaidininkiniuose įrenginiuose cirkonio oksidas naudojamas kaip aukštos k dielektrinė medžiaga, kuri gali veiksmingai pagerinti tranzistorių veikimą.

Techniniai pranašumai: Cirkonio oksidas turi didelę dielektrinę konstantą ir gerą terminį stabilumą, todėl yra ideali medžiaga tranzistoriaus talpai didinti ir nuotėkio srovei sumažinti.

2. Optinės dangos

Išsami informacija apie taikymą: Cirkonio oksidas naudojamas optinių komponentų, tokių kaip veidrodžiai ir apsauginiai langai, dangai, užtikrinančioms aukštą lūžio rodiklį ir puikų atsparumą dilimui.

Techniniai pranašumai: Cirkonio oksido dangos gali padidinti optinių įrenginių ilgaamžiškumą ir našumą, ypač didelės galios lazerinėse sistemose.

3. Taikymas kietojo disko technologijoje

Išsami informacija apie taikymą: gaminant kietuosius diskus, cirkonio oksido taikiniai naudojami dilimui ir korozijai atsparioms plėvelėms gaminti.

Techniniai pranašumai: šios plėvelės padeda pagerinti duomenų saugojimo įrenginių tarnavimo laiką ir patikimumą.

Populiarus Žymos: hafnio oksido (hfo2) purškimo taikinys, Kinijos hafnio oksido (hfo2) purškimo taikinio tiekėjai, gamykla