Produktų aprašymas

Cirkonio purškimo taikinys turi tas pačias savybes kaip ir jo žaliava. Jo tankis yra 6,49 g/cc, lydymosi temperatūra yra 1852 laipsniai, o garų slėgis yra 10 -4 Torr prie 1987 laipsnių. Tai blizgus, beveik baltas, stiprus pereinamasis metalas, labai panašus į hafnį ir šiek tiek panašus į titaną. Cirkonis daugiausia naudojamas kaip ugniai atspari medžiaga ir drumstiklis, tačiau nedidelis cirkonio kiekis naudojamas kaip legiravimo agentas dėl didelio atsparumo korozijai.

„Circonium Sputtering Target“ gaminamas lydymosi technologija, paprastai naudojamas dekoratyvinei dangai ir optinei dangai. Didelio grynumo cirkonio purškimo taikiniuose yra labai mažai hafnio, paprastai naudojamas optiniam laukui, mes tiekiame standartinius Hf ir Zr taikinius Leybold dengimo įrangai.

Tuo tarpu aukso spalvos plėvelėms gaminti naudojami mažesnio grynumo cirkonio purškimo taikiniai ir cirkonio lanko katodai. Iki 99,4 % grynumo, vienodo grūdelių dydžio, mažesnio priemaišų kiekio galutinis vartotojas gali gauti gerą kietumą, didelį ryškumą, korozijai ir oksidacijai atsparią spalvą, labai ilgą laiką nepakeisdamas ar nesutepdamas. Laikrodžių, santechnikos, automobilių veidrodėlių ir kt. gamintojams tiekiame cirkonio purškimo taikinio arba cirkonio lanko katodus, kurie yra tinkami įvairioms magnetroninio purškimo mašinoms ir jonų dengimo mašinoms.

Cheminė specifikacija

Dėl mūsų didelio grynumo purškimo taikinio plėvelė gali turėti išskirtinį elektros laidumo lygį ir sumažinti dalelių susidarymą PVD proceso metu.

Cirkonio (Zr) specifikacijos

Medžiagos tipas	Cirkonis
Simbolis	Zr
Atominis svoris	91.224
Atominis skaičius	40
Spalva/Išvaizda	Sidabriškai baltas, metalinis
Šilumos laidumas	22.7 W/m.K
Lydymosi temperatūra ( laipsnis )	1,852
Šiluminio plėtimosi koeficientas	5.7 x 10-6/K