ITO tiksliniai našumo parametrai
1. Grynumas: ITO taikosi pagal pramonės standartų reikalavimus, kad grynumas būtų nuo 99,99 % (4N) iki 99,999 % (5N). Kai grynumas yra didesnis, susidaro mažesnis teršalų skaičius, o tai reiškia, kad plėvelės, sukurtos iš taikinio, yra mažiau trūkumų.
2. Kristalinė struktūra: ITO taikiniai paprastai atitinka kubinę kristalų struktūrą, kurios gardelės parametras yra maždaug 10,118 Å. Kristalinės struktūros kokybė turi įtakos gaminamų plėvelių kokybei.
3. Šilumos laidumas: ITO taikinių šilumos laidumas yra apie 20–30 W/(m·K). Geresnis šilumos laidumas padeda greitai praleisti ir išsklaidyti šilumą, o tai sumažina tikslinės medžiagos nuostolius purškiant.
4. Elektros laidumas: ITO elektrinis laidumas yra 10^3 - 10^4 S/cm, o tai yra naudinga gaminant skaidrias laidžias plėveles.
5. Magnetiškumas: didelio-grynumo ITO taikinių magnetizmas yra silpnesnis. Tai yra naudinga ITO taikinių stabilumui purškimo metu. ITO taikinys yra pagamintas taip, kad kontroliuojamas vidutinis dalelių dydis būtų 1–5 μm. Tai užtikrina vienodumą purškimo etape. Tankis paprastai yra artimas 95% arba didesnis už teorinį tankį. Tai svarbu norint padidinti purškimo efektyvumą, o vėliau ir plėvelės kokybę.
ITO tikslų sudarymo metodai
1. Metalurgijos miltelių metodas
Maišymas: Pirma, indžio oksido (In2O3) atveju yra įtraukta nedidelė dalis alavo oksido (SnO2), kuris yra antrasis komponentas. Toks miltelių mišinys ITO taikinio atveju lemia jo elektrines charakteristikas.
Rutulinis malimas: rutulinis malūnas naudojamas mišiniui apdoroti, kad jis būtų vienodas ir vienodumo, ir reaktyvumo požiūriu. Šiuo atveju svarbu atsižvelgti į apdorojimo būdą ir laiką, nes tai svarbu miltelių formai ir dydžiui.
Presavimas: Apdoroti milteliai presuojami rutuliniu būdu, kad būtų padidintas vienodas tankis, o tai dar labiau padeda pagerinti formą. Kompaktiškumo tankis ir vienodumas tiesiogiai įtakoja sekančio sukepinimo proceso rezultatus.
Sukepinimas: tankinamasis korpusas įkaitinamas iki sukepinimo temperatūros, todėl susidaro sukepinimo efektai, leidžiantys iš birių indžio alavo oksido (ITO) sukurti „tankius“ blokus.
2. Sol-Gelio technika
Solidžių sintezė: tinkamos indžio ir alavo druskos parenkamos kaip žaliavos ir chemiškai reaguojama, kad susidarytų zolis tirpiklyje. Kontroliuojant reakcijos sąlygas galima gauti labai vienodą zolį. Senėjimas: susidaręs zolis sendinamas, kad būtų pagerintas jo stabilumas ir išvengta netolygaus kritulių susidarymo vėlesnio terminio apdorojimo metu.
Leidžiamos transformacijos kontrolė: daugiau dėmesio skiriant naudingam taikymui, ITO turinčios miltelių dalys apima junginio struktūros transformavimą ir pavertimą naudingomis elementų dalimis, ypač šiuo atveju.
Sukepinimas: Milteliai yra padengti angliavandeniliu, todėl yra sujungti į ITO, todėl savybės ir charakteristikos įgalina sukepinimo efektą.
3. Šalto spaudimo ir sukepinimo procesas
Šaltasis spaudimas: norint suformuoti ITO miltelių bloką, jie įpilami į formą ir sutankinami kambario temperatūroje mechaniniu presavimu. Šis metodas neapima šilumos panaudojimo; taigi terminas šaltasis spaudimas.
Rišiklio pašalinimas: jei šalto spaudimo metu įterpiama rišiklio, ji turi būti pašalinta prieš sukepinimo etapą, paprastai naudojant terminio apdorojimo procesus.
Sukepinimas: ITO sutankintas šaltas presavimas pakraunamas į sukepinimo krosnį ir sukepinamas aukštesnėje temperatūroje. Šalto spaudimo ITO korpusai leidžia šioms medžiagoms praleisti mažiau laiko esant aukštai temperatūrai, o tai savo ruožtu sumažina grūdų augimą ir padeda kontroliuoti medžiagos mikrostruktūrą.
4. Vakuuminis karštasis presavimas
Vakuuminis presavimas: ITO milteliai karštai spaudžiami{0}}vakuuminėje aplinkoje. Vakuuminė aplinka veiksmingai apsaugo nuo oksidacijos ir sumažina priemaišų patekimą.
Vienalaikis terminis apdorojimas: skirtingai nuo tradicinio presavimo, vakuuminis karštas presavimas sujungia presavimą ir terminį apdorojimą į vieną procesą. Milteliai sukepinami vienu metu esant slėgiui ir temperatūrai, todėl gaunamas didesnis tankis ir geresnis našumas. Aušinimas: po karšto presavimo, ITO taikinys turi būti lėtai aušinamas kontroliuojant temperatūrą, kad būtų išvengta medžiagos įtrūkimų ar vidinio įtempimo dėl per didelio aušinimo greičio.
Miltelinė metalurgija tinka didelės apimties{0}}gamybai ir pasižymi palyginti mažomis sąnaudomis, tačiau gali turėti apribojimų, susijusių su dalelių dydžio kontrole ir medžiagų vienodumu. Nors sol-gelio metodas apima sudėtingesnius veiksmus ir yra brangesnis, juo gaminami produktai, kurių dalelių dydžio pasiskirstymas yra mažesnis ir vienodesnis, todėl jis tinkamas naudoti, kai reikia ypač aukštos plėvelės kokybės. Tiek šalto presavimo, tiek vakuuminio karšto presavimo procesai gali pasiekti didelį tankį ir vienodą mikrostruktūrą ruošiant ITO taikinius, kurie yra labai svarbūs plėvelės vienodumui ir veikimui.
Vakuuminis karštasis presavimas ypač užtikrina puikų mikrostruktūros valdymą, išlaikant aukštą tikslinį tankį, nes jis vienu metu veikia esant aukštam slėgiui ir temperatūrai.
ITO tikslų taikymo rekomendacijos
1. Jutikliniai ekranai ir ekranai:
- Skaidrios laidžios plėvelės (TCF) naudojamos LCD ekranams, jutikliniams skydams ir OLED ekranams. Geriausia naudoti smulkių -dalelių ITO taikinius TCF, kad būtų pasiektos puikios skaidrumo ir laidumo savybės.
- Plėvelės sukibimą ir vienodumą galima pagerinti kontroliuojant pagrindo temperatūrą ir purškimo galią.
2. Fotovoltiniai moduliai:
- Naudojant ITO taikinius, saulės plonosios plėvelės ir kiti plonasluoksniai saulės elementai gali pagerinti fotokonversijos efektyvumą.
- Fotovoltinės medžiagos, jautrios aukštai temperatūrai, turėtų būti apdorojamos naudojant žemos-temperatūros purškimo metodus.
3. Optoelektroniniai įrenginiai: - Srovės difuzijos arba antirefleksiniai sluoksniai lazeriniuose dioduose ir šviesos dioduose yra pagaminti iš ITO plonų plėvelių.
- ITO taikiniams, kurių laidumas yra geresnis nei pralaidumas, atlikite aukštos kokybės optinės plėvelės purškimą, kad sumažintumėte nuostolius nusodinimo metu.
4. Jutikliai: - Konstruojant jautrius dujų jutiklių ir biosensorių sluoksnius arba elektrodus, ITO plonos plėvelės randa pritaikymo.
- Siekiant optimalaus biojutiklio tikslumo, plonasluoksniai elektrodai turi būti pagaminti iš labai-grynų medžiagų, o jautrūs sluoksniai turi būti pritaikyti prie supančios aplinkos.
5. ITO plonų plėvelių taikymas: Antistatinė ITO plonų plėvelių kraštinė sąsaja: - Dėl ITO plonų plėvelių laidumo jas galima naudoti siekiant išvengti antistatinių ir elektromagnetinių trukdžių elektroniniuose įrenginiuose, taip pat įrenginiuose su ITO.
- Reikia pasirūpinti, kad būtų subalansuotas medžiagų laidumas ir skaidrumas, o tinkama tikslinė medžiaga turi būti parinkta, kad atitiktų tam tikros aplinkos reikalavimus.
Skirtingos ITO tikslinės medžiagos turėtų būti pritaikytos konkrečiai situacijai, atsižvelgiant į jų naudojimą. Be to, ITO plonos plėvelės savybės gali būti pagerintos stebint tikslines sąlygas, tokias kaip temperatūra, nusėdimo greitis ir tikslinis suvartojimo greitis purškimo proceso metu.
ITO Target saugojimas ir priežiūra
1. Apsaugos priemonės sandėliavimo metu:
- ITO taikiniams reikia sausos, švarios ir temperatūros{1}}stabilios laikymo vietos, kad būtų išvengta bet kokių jų fizinės formos ir cheminės sudėties pokyčių dėl temperatūros ir drėgmės svyravimų.
- Siekiant išvengti užteršimo, ITO taikiniuose taip pat neturi būti korozinių skysčių ir dujų. Taigi sandėliavimui tiktų sandarios pakuotės.
2. Apsauga nuo teršalų ir dulkių:
- Visą laikymo ir apdorojimo laikotarpį taikinys turi būti be dulkių ir bet kokio užteršimo, kad nebūtų pakenkta jo purškimui. Taikiniams pridengti tiktų nedulkėtos- šluostės ir specialios apsauginės plėvelės.
3. Temperatūros stebėjimas:
- Nors ITO taikiniai yra išskirtinai stabilūs, jų funkcionalumą gali pabloginti labai aukšta arba labai žema temperatūra. Optimali parduotuvės temperatūra paprastai yra 15-25 laipsnių Celsijaus.
4. Drėgmės kontrolė:
- Santykinė drėgmė (RH) sandėliavimo vietoje turi būti kontroliuojama 40–60 % santykinio drėgnumo intervale. Drėgmę galima reguliuoti naudojant sausiklius ir drėgmės kontrolės prietaisus.
5. Priežiūra ir valymas: - Atlikite nuolatinio taikinio vientisumo įvertinimą. Nenaudokite taikinio, jei yra įtrūkimų ar kokių nors pažeidimų. - Taikinio valymui naudokite didelio-grynumo alkoholį arba dejonizuotą vandenį. Nenaudokite jokių organinių tirpiklių arba stiprių rūgščių ar stipriai šarminių valymo priemonių.
6. Paruošimas prieš naudojimą: - Prieš įdėdami taikinį į purškimo įrangą, įsitikinkite, kad jis yra švarus, kad išvengtumėte užteršimo, valydami jį švarioje patalpoje.
- Prieš purškdami atlikite išankstinį-purškimo laikotarpį, kad įsitikintumėte, jog būtų pašalintos visos smulkios priemaišos, kurios gali būti ant tikslinio paviršiaus.
7. Techninės priežiūros įrašai: - Rekomenduojama vesti tikslinį naudojimo ir priežiūros įrašą, kuriame būtų išsamiai aprašytos kiekvienos naudojimo ir saugojimo sąlygos, kad būtų galima stebėti našumo pokyčius ir laiku atlikti pakeitimus.
Laikydamiesi šių saugojimo ir priežiūros rekomendacijų, galite efektyviai pratęsti savo ITO taikinio eksploatavimo laiką, užtikrinti stabilų purškimo procesą ir gaminti aukštos -kokybės plonas plėveles.