Purškiančius taikinius pagal jų formą galima suskirstyti į plokštuminius ir besisukančius taikinius. Plokšti taikiniai – tai ilgi taikiniai, kvadratiniai ar tam tikro storio apvalūs taikiniai ir pan., kurie gaminami surišant taikinio ruošinį ir atraminę plokštę. Purškimo metu tikslinis ruošinys ir substratas yra lygiagrečiai vienas kitam, o tarp tikslinio ruošinio ir pagrindo susidaro elektromagnetinis laukas. Besisukantys taikiniai yra vamzdiniai taikiniai, o purškimo metu į pagrindą susidaro elektromagnetinis laukas. Plokšti taikiniai yra universalesni, tačiau jų panaudojimo lygis yra mažesnis; besisukantys taikiniai turi didesnį panaudojimo koeficientą, bet prastą dangos vienodumą.
Besisukančių taikinių privalumai
1. Besisukantys taikiniai turi didesnį medžiagų panaudojimą
Besisukantys taikiniai gali tolygiai sunaudoti taikinio paviršių sukimosi metu, taip pagerindami taikinio medžiagos panaudojimą, kuris paprastai gali siekti 70–90%. Tačiau kadangi tik viena fiksuota plokštuminio taikinio pusė yra susijusi su purškimu, naudojimo metu susidarys „grioveliai“ arba „duobės“, todėl medžiaga sunaudos netolygiai, o medžiagos panaudojimo lygis paprastai yra 30–40%. Dėl brangių taikinių (pvz., tauriųjų metalų ar retųjų žemių medžiagų) besisukantys taikiniai gali žymiai sumažinti išlaidas ir padidinti ekonominę naudą.
2. Besisukantys taikiniai turi geresnį purškimo tolygumą
Besisukantys taikiniai veikimo metu sukasi nepertraukiamai, todėl kiekviena tikslinio paviršiaus padėtis yra tolygiai veikiama plazmos ir sudaro vienodesnį purškimo greitį. Tai turi akivaizdžių pranašumų taikant aukštus reikalavimus plėvelės vienodumui (pvz., ekranams ir puslaidininkių procesams). Plokštieji taikiniai yra linkę į nevienodą plėvelės storį dėl vietinio per-purškimo, ypač esant dideliems-pagrindų plotams arba nepertraukiamai gaminant.
3. Besisukančių taikinių tarnavimo laikas ilgesnis
Kadangi besisukantys taikiniai sunaudoja vienodesnę medžiagą, jų tarnavimo laikas paprastai yra ilgesnis nei plokštuminių taikinių. Tai reiškia, kad tomis pačiomis darbo sąlygomis besisukančio taikinio keitimo dažnis yra mažesnis, o tai sumažina įrangos prastovos laiką ir pagerina gamybos efektyvumą. Kai kurių nepertraukiamų gamybos procesų, pvz., didelio-ploto dengimo ir ritininio-į-vyniojimo, metu besisukantis taikinys gali žymiai pailginti gamybos ciklą ir sumažinti priežiūros išlaidas.
4. Besisukantys taikiniai turi aukštesnę plėvelės kokybę
Besisukančio taikinio purškiamas plėvelės sluoksnis yra tankesnis ir vienodesnis, o tai tinka kai kurioms programoms, kurioms keliami itin aukšti plėvelės kokybės reikalavimai (pvz., aukščiausios klasės elektroniniams įrenginiams ir puslaidininkinių įrenginių gamybai). Taip yra todėl, kad besisukantis taikinys gali veiksmingai sumažinti defektus, atsirandančius dėl netolygaus purškimo ant tikslinio paviršiaus, ir pagerinti plėvelės sluoksnio kokybę bei nuoseklumą.
Išvada
Palyginti su plokštuminiais taikiniais, sukamieji taikiniai turi didesnį medžiagų panaudojimą, ilgesnį tarnavimo laiką, vienodesnį purškimo efektą ir pritaikymą dideliam{0}}plotams ir dideliam{1}}gamybos kiekiui. Dėl to sukamieji taikiniai yra svarbus pasirinkimas šiuolaikinio plonasluoksnio nusodinimo srityje, ypač dengiant didelius plotus, nepertraukiamą gamybą ir aukščiausios klasės elektroninių prietaisų gamybą.